(1)FeCl3浓度(dù)值对蚀刻机蚀刻速度的危害:FeCl3蚀刻液中随FeCl3浓度值的提高,蚀刻速度加速。当所(suǒ)含FeCl3超出某一(yī)浓度值时,因(yīn)为蚀刻机水溶液粘度提升,浸蚀速度反倒有一(yī)定的降低。针对选用抗蚀印料或(huò)抗蚀湿膜的铜零件,浓度值可操纵在35°波美度上下;选用液态光致(zhì)蚀剂(如骨胶,丙烯酸乳液(yè)等)的铜零件。浓(nóng)度(dù)值调节在(zài)42°波美度上(shàng)下。一般 状况下,蚀刻机医疗箱内药液浓(nóng)度(dù)值在350g/L-600g/L为宜。
(2)硫酸的增加量对蚀刻机的浸蚀速度危害:在腐蚀机中添加硫酸,一则能够抑(yì)止FeCl3和(hé)CuCl2的(de)水(shuǐ)解反应;二则可提升蚀刻速度。尤其是当蚀刻液中铜成分大(dà)路37.4g/L后,盐酸的作用更为显著。但这应依据不一样的抗蚀层原材料选(xuǎn)用适宜的酸度,假如抗蚀层(céng)挑选骨(gǔ)胶,果胶,丙(bǐng)烯酸乳(rǔ)液等光致抗蚀(shí)层,则(zé)不能用太高的酸度,不然,抗蚀层便于被毁(huǐ)坏。针对光感应环氧(yǎng)树脂抗蚀剂及油墨(mò)印刷抗蚀层,则能够挑选较高的酸度。
(3)温度对蚀刻速度的危害:在FeCl3蚀刻加工工(gōng)艺中,随温度(dù)的上升(shēng),蚀刻机中产品工件的浸蚀(shí)速度显(xiǎn)著加速。例如在50℃时,全新升级蚀刻液(yè)对铜的蚀刻速度可实(shí)现10μm/min。但在现实制造中,全是选用常温下蚀刻(kè)方式。FeCl3对铜的蚀刻是一个化学反应,伴随着蚀(shí)刻(kè)的开展,蚀刻机中(zhōng)药材水温(wēn)度会慢慢上升,蚀刻速度加速。伴随着FeCl3的耗费,蚀刻(kè)速度也会降低。与此(cǐ)同(tóng)时这一提(tí)温全(quán)过程也较(jiào)为迟缓(huǎn),因此在全部蚀刻全(quán)过程中蚀刻速度转变并不大。